产品名称

石英舟(管)清洗机

型号

KSZDSYZ

适用工艺路线

TOPCON、PERC

功能简介

用于硼扩磷扩LPCVD等石英舟石英管的清洁处理

工艺流程

酸洗→水洗→ 烘干

适用石墨舟尺寸

"小舟：432mm*221mm*212mm(L*W*H)
舟托1：1230mm*412mm*279mm(L*W*H)
舟托2：1450mm*412mm*279mm(L*W*H)等各种尺寸"

产能

42+套/天（产能可根据需求客制化）

功率/电压

主机台：40KW /380V 50Hz 3 相 5 线制

设备特点

整机为封闭结构，避免环境污染；设备具备节水设计功能，具有后槽溢流水收集到喷淋槽重复利用功能；具备自动配补液系统，补液精度高；